装置メーカー
株式会社E社様の課題
半導体製造装置に使用されるアルミ部品に対して、表面処理で紫外線の乱反射を防止したい。黒色の皮膜を評価してるが、なにか良さそうな表面処理があれば教えて欲しい。摺動はしない部品なので硬度などは問わない。
課題解決
今回の目的は、紫外線の乱反射防止であった為、カニブラックを提案させて頂きました。カニブラックは無光沢の黒色無電解ニッケルめっき皮膜になります。表面の微細凹凸により光反射防止効果があり、光学機器や半導体製造装置部品など限定された分野ではありますが、定評があります。ただ、非常に摺動に弱い皮膜なので、摺動箇所や手で触れる部品にはお勧めできない皮膜です。この案件の製品については、摺動や手で触れる事のない使用環境であったので、問題ないとの事でした。
ご使用いただいた所、紫外線領域において良好な低反射特性が得られました。結果としは、紫外線乱反射防止の目的を達成しました。
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